تطبيق طلاء الدوران في عملية الطباعة الضوئية لأشباه الموصلات

يجب أن تُجرى عملية الطباعة الضوئية لأشباه الموصلات في غرفة نظيفة، ويجب أن يتوافق مستوى الغرفة النظيفة مع متطلبات عملية الطباعة الضوئية لأشباه الموصلات. الهدف من الطباعة الضوئية هو نقل نمط القناع إلى المقاوم الضوئي، ثم نقله إلى سطح رقاقة السيليكون عن طريق النقش.

العملية الأساسية للطباعة الضوئية:

طلاء الغراء:عند الطلاء، استخدم ضوء الأشعة فوق البنفسجية VTC-100PA-UVالكوع الدوارصُنعت هذه المادة من قِبل شركتنا لتغطية سطح رقاقة السيليكون بطبقة مقاومة للضوء بالتساوي. سماكة الطبقة تتناسب عكسياً مع الجذر التربيعي لسرعة الدوران.

(T1/T2)2=(S2/S1)

الخبز المسبق:بعد الطلاء، يُستخدم جهاز خبز الغراء الدقيق HT-150 لخبز رقاقة السيليكون مسبقًا لإزالة المذيب الموجود فيها، مما يُحسّن التصاق المادة الغروانية بسطح رقاقة السيليكون، ويزيد من مقاومة غشاء الغروانية للاحتكاك الميكانيكي، ويُقلل الضغط داخل الغشاء الناتج عن الدوران عالي السرعة. يتراوح نطاق درجة حرارة الخبز المسبق عادةً بين 90 و120 درجة مئوية، ويتراوح وقت الخبز بين 60 و120 ثانية.

التعرض:بعد الخبز المسبق، يتم نقل رقاقة السيليكون مع الفيلم إلى جهاز الأشعة فوق البنفسجية VTC-100PA-UVطلاء الدوران للتعرض. يُشعَّع الضوء على غشاء المقاومة الضوئية على سطح رقاقة السيليكون عبر القناع. يخضع الغشاء المُشعَّع بالضوء لتفاعل كيميائي. تختلف قابلية ذوبان غشاء المقاومة الضوئية في المنطقة الحساسة وغير الحساسة في المحلول القلوي، مما يُؤدي إلى انتقال نمط القناع بالكامل إلى سطح رقاقة السيليكون. بشكل عام، يتراوح طول موجة مصدر الضوء فوق البنفسجي المُختار للتعرض بين 180 و330 نانومتر. كلما زاد طول الموجة، زادت الطاقة وقصر زمن التعرض. يجب تحديد مصدر ضوء التعرض وزمنه وفقًا لعمليات مختلفة.

تطوير:عادةً ما توجد طريقتان للتطوير: التطوير بالغمر والتطوير بالرش الدوار. في هذه العملية، تُستخدم طريقة الرش الدوار للتطوير، والمعدات المختارة هي آلة رش الفيلم الدوار VTC-200-4P. بعد التفتيت، يُرش تركيز معين من المُطور على سطح فيلم المقاومة الضوئية، مما يُذيب جزءًا من المقاومة الضوئية في منطقة التعرض والمنطقة غير المعرضة، وتظهر الصورة الكامنة في الفيلم. يُستخدم نمط المقاومة الضوئية المتبقي بعد التطوير كقناع في عملية النقش اللاحقة.

تصلب الفيلم:بعد التطوير، تم تسخين الغطاء العلوي لرش VTC-200-4Pالكوع الدواريتم استخدام r مباشرة لخبز الفيلم مرة أخرى لمزيد من تبخير المذيب المتبقي في الغراء، بحيث يتم تقليل محتوى المذيب المتبقي في الغراء وتصلب فيلم الغراء.

النقش: يتم إزالة المادة الغروانية الموجودة في المنطقة غير المقنعة بالمقاومة من خلال عملية التآكل، مما يترك نمط الجزء المقنع بالمقاومة.

إزالة الصمغ:استخدام رذاذ VTC-200-4Pطلاء الدوران لاستخدام عملية إزالة الصمغ الرطبة، يُرش المذيب العضوي على طبقة مقاومة الضوء على سطح النموذج، مما يُذيبها ويُزال، ويترك نموذجًا نظيفًا. تشمل معدات الطلاء المتاحة جهاز VTC-100PA الفراغي.طلاء الدوران، VTC-100PA-Ⅰغطاء علوي للتسخين الفراغيطلاء الدوران، فراغ VTC-100طلاء الدوران、VTC-200 فراغطلاء الدوران، آلة طلاء دوارة مفرغة من الهواء VTC-200PV، وآلة طلاء دوارة بالرش VTC-200-4P وآلة طلاء فوق بنفسجية VTC-100PA-UVطلاء الدوران. مختلفطلاء الدوران يمكن اختيارها وفقًا للعملية المحددة.

يمكن لآلة خبز الغراء استخدام آلة خبز الغراء الدقيقة HT-150 من شركتنا، وآلة خبز الغراء عالية الدقة HT-200 المُتحكم بها بواسطة برنامج. يمكن اختيار تكوينات مختلفة لآلات خبز الغراء وفقًا للاحتياجات.

الشركةطلاء الدوران صغير الحجم، سهل التشغيل، ومجهز بوظائف اختيارية كاملة. جميع موديلاتطلاء الدوران نستخدم أنظمة تحكم عالية الدقة، وندعم تعديل المعلمات وتسجيل البيانات. كما تدعم بعض المعدات التكوين المعياري. كما نقدم نظام خدمة ما بعد البيع شاملاً، يشمل تركيب المعدات وتشغيلها، والتدريب على التشغيل، والدعم الفني.