إجراءات تشغيل فرن الأنبوب المفرغ

بالنسبة للمشترين من الفئة B في مجالات البحث والتطوير في مجال المواد وتصنيع أشباه الموصلات، فإن إتقان التشغيل الموحد لـفرن أنبوب التفريغ الصغيريضمن سلامة التجارب، وإمكانية تكرار البيانات، وعمر المعدات. بفضل تصميمه المدمج ودقة التحكم في درجة الحرارة،فرن أنبوب التفريغ الصغيرأصبح الخيار الأمثل لتجارب التفريغ عالية الحرارة على دفعات صغيرة في مختبرات الجامعات ومراكز البحث والتطوير والشركات الصغيرة والمتوسطة. في هذه المقالة، سأقدم لكم إجراءات التشغيل الكاملة لـفرن أنبوب التفريغ الصغيرلمساعدتك على الاستفادة الكاملة من أداء معداتك.

يجب إكمال ثلاث عمليات تفتيش قبل البدءفرن أنبوب التفريغ الصغيرلتجنب المخاطر المحتملة. أولًا، فحص حالة المعدات. من الضروري التأكد من سلامة الغلاف الخارجي للفرن، وأن أنبوب الفرن سليم، وأن سلك الطاقة وكابل التحكم متصلان بإحكام، وأن نظام التفريغ سليم أو قديم. ثانيًا، فحص نظام تبريد الهواء. يجب التأكد من سلامة مروحة التبريد.فرن أنبوب التفريغ الصغيرتأكد من سلامة مخرج الهواء وعدم انسداده. بعد تشغيل الطاقة، تأكد من عمل المروحة بشكل طبيعي، وتأكد من نظافة شبكة المروحة المقاومة للغبار لتجنب ارتفاع درجة الحرارة وتلف المكونات الداخلية للفرن بسبب ضعف تبديد الحرارة. الخطوة الأخيرة هي تحضير العينات والأدوات. مع مراعاة طول منطقة التسخين (150 مم) للمعدات، من الضروري اختيار قارب عينة صغير مناسب، ووضع العينات بالتساوي في القارب، ثم دفع قارب العينة ببطء إلى منطقة التسخين في منتصف أنبوب الفرن، وإغلاق باب الفرن، وشدّ مشبك الحافة لإحكام تثبيت سطح الختم المفرغ.

في مرحلة بدء التشغيل، يجب العمل وفقًا لمبدأ أولوية الفراغ. شغّل أولًا مصدر طاقة مضخة الفراغ وافتح صمام الفراغ ببطء. بعد أن تصل درجة الفراغ إلى القيمة القياسية للجهاز، استمر في العمل لمدة 10 إلى 15 دقيقة للتخلص من الهواء المتبقي في أنبوب الفرن. بعد ذلك، شغّل نظام التحكم في درجة الحرارة واضبط منحنى التسخين. يُنصح بأن يكون معدل التسخين بين 2 و10 درجات مئوية/دقيقة. تجدر الإشارة إلى أن 1800 درجة مئوية هي درجة الحرارة القصوى قصيرة المدى للجهاز.فرن أنبوب التفريغ الصغيرلا تتجاوز مدة الاستخدام المستمر 30 دقيقة. يُنصح باستخدام درجة حرارة تتراوح بين 800 و1750 درجة مئوية للعمل التقليدي، مما يُطيل عمر عنصر تسخين قضيب السيليكون والموليبدينوم.

أثناء عملية التسخين، يجب الانتباه إلى تغيرات المعلمات. قبل 30 دقيقة من الوصول إلى درجة الحرارة المستهدفة، سجّل قراءات شاشة التحكم في درجة الحرارة ومقياس الفراغ كل 5 دقائق، بحيث يكون الانحراف بين درجة الحرارة الفعلية والقيمة المحددة ≤±1 درجة مئوية، وتأكد من عدم وجود تقلبات غير طبيعية في درجة الفراغ. في الوقت نفسه، يجب التحقق من حالة نظام التبريد بالهواء كل 10 دقائق، ولمس جانب...فرن أنبوب التفريغ الصغيرتأكد من سلامة الغلاف الخارجي، واستمرار عمل المروحة بثبات. عند وصول درجة الحرارة إلى القيمة المستهدفة، تدخل مرحلة العزل الحراري. في هذه المرحلة، يجب تشغيل مضخة التفريغ باستمرار، وتجنب الضبط المتكرر لمعاملات درجة الحرارة أثناء مرحلة العزل الحراري، وذلك لمنع التقلبات المفرطة في درجة الحرارة من التأثير على النتائج التجريبية. بالإضافة إلى ذلك، يُمنع فتح باب الفرن أو ضبط مشبك الحافة أثناء مرحلة العزل لتجنب دخول الهواء المفاجئ إلى أنبوب الفرن، مما قد يؤدي إلى تفاعل أكسدة، أو كسره بسبب تغيرات الضغط المفاجئة.

بعد انتهاء التجربة، يجب تبريدها وفقًا للخطوات. أولًا، أوقف تشغيل نظام التحكم في درجة الحرارة، واستمر في تشغيل نظام التبريد ومضخة التفريغ، وانتظر حتى تنخفض درجة حرارة الفرن إلى أقل من 300 درجة مئوية. ثم أوقف تشغيل مضخة التفريغ، وافتح صمام التفريغ ببطء ليمر عبر الغاز الخامل لموازنة الضغط. عندما تنخفض درجة الحرارة أكثر عن 100 درجة مئوية، يمكن فتح باب الفرن لإخراج قارب العينة. بالطبع، لا يمكن تجاهل الصيانة اللاحقة. بعد انتهاء التجربة، استخدم قطعة قماش نظيفة مغموسة بالكحول لتنظيف بقايا العينة في أنبوب الفرن، وتحقق أيضًا من تلف حلقة الختم الفراغية. في حال وجود أي تشوه أو تآكل، يجب استبدالها في الوقت المناسب. أخيرًا، افصل مصدر الطاقة عن جميع المعدات، ونظف شبكة المروحة المقاومة للغبار، وسجل منحنى درجة الحرارة، وتغيرات درجة التفريغ، وحالة تشغيل المعدات لهذه التجربة، وأنشئ سجل تشغيل كمرجع للصيانة اللاحقة وتحسين العملية.فرن أنبوب التفريغ الصغير.