آلة طلاء الفراغ لصندوق القفازات متعددة الأغراض للخلايا الشمسية من البيروفسكايت

أ. نظام ثلاثي الطور بخمسة أسلاك. خمسة أسلاك: 380 فولت تيار متردد (+/-5%)، 50 هرتز، ثلاثة أسلاك حية، سلك أرضي واحد، وسلك محايد واحد. الحد الأقصى للطاقة 8 كيلو وات، الحد الأقصى للتيار 32 أمبير.

ب. بالإضافة إلى ذلك، يلزم وجود سلك تأريض مستقل للقشرة.

2. الماء:

معدل التدفق 15-20 لتر / دقيقة، 15 إلى 25 درجة مئوية، فرق ضغط مدخل ومخرج الماء 1 إلى 2 كجم، ضغط مدخل الماء 2 ~ 3 كجم، القطر الخارجي لمدخل ومخرج المياه للمعدات هو 12 مم (يوصى باستخدام أنبوب مياه مطاطي أفضل)؛ يوصى بتثبيت صمام كروي أمام مدخل المياه للمعدات، بحيث يمكن تعديل ضغط المياه وتدفق المياه بسهولة.

3. الغاز:

أ. الهواء المضغوط: هواء مضغوط جاف ونظيف وخالي من الماء وخالي من الزيت، وأنبوب هواء بلاستيكي مقاس 8 مم، وضغط 5.5-6

كجم (0.55-0.6 ميجا باسكال).

ب. النيتروجين العادي: النيتروجين الجاف، المستخدم لكسر الفراغ في حجرة المعدات. أنبوب هواء بلاستيكي 8 مم، ضغط 1-2 كجم (0.1-0.2 ميجا باسكال).

1. غرفة فراغ محددة من الفولاذ المقاوم للصدأ 304، تلميع كهربائي داخلي، يبلغ قطر غرفة الفراغ حوالي 400 مم عرضًا، و400 مم عمقًا، و450 مم ارتفاعًا، مع هيكل باب أمامي وخلفي عمودي.

2. يعتمد قضيب الباب الأمامي على تصميم قضيب مزدوج مستورد، بمظهر أكثر تنسيقًا وقفل يدوي. يعتمد الباب الخلفي على هيكل مفصل يدوي، سهل الشد والإغلاق؛ يوفر النظام بطانة من الفولاذ المقاوم للصدأ مع هيكل متعدد القطع لسهولة التفكيك والتركيب. الأسطح الداخلية والخارجية لغرفة التفريغ مصقولة. الغرفة مجهزة بواجهات المعدات مثل الإضاءة ومقاييس سمك الفيلم؛

3. الجانب الأيسر من حجرة التفريغ متصل بالصمام الرئيسي والمضخة الجزيئية وواجهة قياس التفريغ. الجزء العلوي مزود بمرحلة عينة دوارة مبردة بالماء وحاجز مرحلة العينة وواجهة مسبار مقياس سماكة الفيلم؛ اللوحة السفلية مزودة بمجموعتين من أقطاب تبخير المعادن و4 مجموعات من المصادر العضوية ومنفذين لتركيب مسبار مقياس سماكة الفيلم؛

4. أبواب أمامية وخلفية مع نوافذ مراقبة زجاجية: نافذة مراقبة بقطر 4 بوصات مع حاجز على الباب الأمامي لغرفة التفريغ؛ مزودة بزجاج مضاد للأوساخ؛ نافذتا مراقبة صغيرتان على الباب الخلفي لمراقبة المصدر والعينة على التوالي، ومجهزة بزجاج مضاد للأوساخ.

الثاني. مصدر التبخر: مزود بمصدر تبخر معدني ومصدر تبخر غير معدني

ثالثًا، نظام إنذار كامل: اكتشاف نقص المياه وانخفاض الجهد والحماية منه، واكتشاف تسلسل الطور والحماية منه، واكتشاف درجة الحرارة والحماية منه، واكتشاف نظام الفراغ والحماية منه. إنذار للظروف غير الطبيعية مثل نقص المياه، والتيار الزائد، والجهد الزائد، وانقطاع الدائرة الكهربائية للمضخات والأقطاب الكهربائية، وتنفيذ تدابير الحماية المقابلة؛ نظام حماية متكامل مترابط منطقيًا.

رابعا: طريقة التحكم:

التحكم اليدوي الأوتوماتيكي من باناسونيك وحدة تحكم منطقية قابلة للبرمجة+شاشة تعمل باللمس؛ يمكن إدخال المعدل والسمك النهائي، ويتحكم تعديل معرف المنتج تلقائيًا في خرج طاقة التبخير. محتوى التحكم: مضخة ميكانيكية، مضخة جزيئية، مضخة هوائية، صمام كهرومغناطيسي، مقياس فراغ، إلخ؛ شفط أوتوماتيكي، طلاء أوتوماتيكي، عادم أوتوماتيكي، إلخ؛

حماية التشابك الكاملة (التشابك بالأجهزة والبرمجيات)، في الوضع اليدوي والأوتوماتيكي، تكون المعدات تحت حماية التشابك الكاملة لضمان سلامة الأفراد والمعدات. بالإضافة إلى ذلك، تم تجهيز النظام بجهاز إنذار لكشف تدفق المياه.

V. المميزات الهيكلية: يحتوي النظام على عجلات وأقدام عالمية لسهولة الحركة. (كما هو موضح في الشكل)

نحن. تفاصيل:

يتم تركيب غربال جزيئي أمام المضخة الميكانيكية، ويتم تركيب أجزاء واقية مثل المرشحات والستائر عند مخرج الهواء. تم تصميم مسار الغاز لتجنب الغبار. يتم تركيب المصدر العضوي بشكل مستقل بالداخل.

يتم غلق جميع مراحل العينة، وحواجز المصدر، ودورات مرحلة العينة بسائل مغناطيسي لضمان استقرار النظام على المدى الطويل.

المرحلات، وكتل المحطات، ومفاصل أنابيب المياه وأنابيب الغاز، والصمامات اللولبية والمكونات الصغيرة الأخرى كلها منتجات أصلية عالية الجودة.

1. نظام الفراغ:

باستخدام عيار اف اف-200/1300 من مضخة الجزيئات المشحمة بالشحم من تشونغكي كيي، سرعة الضخ: 1300 لتر/ثانية + نظام فراغ مضخة ميكانيكية فيويه رقم التسجيل الرقمي-16، صمام قلاب هوائي مقاس 8 بوصات، قياس الفراغ: مقياس فراغ منخفض ومقياس فراغ مرتفع (يتراوح من الغلاف الجوي إلى 3E-9torr)، التبديل التلقائي للتحكم في قياس الفراغ المنخفض والفراغ المرتفع. يتم إدخال قراءات الفراغ في وحدة تحكم منطقية قابلة للبرمجة للتحكم في العملية.

صمام الفراغ: النموذج: مجموعتان من صمامات الرفرفة DN40mm؛ مجموعة واحدة من صمام تشونجكي كيي رقم 200 الرئيسي الهوائي.

ختم الفراغ: يتم غلق الختم الثابت القابل للفصل بحلقة مطاطية من الفلوروكربون؛ ويتم غلق الختم الثابت الذي يتم تفكيكه بشكل غير متكرر بنحاس خالٍ من الأكسجين.

2. حد الفراغ:

أفضل من 2.0×10-5 باسكال. معدل التسرب: أفضل من 5×10-8 باسكال*لتر/ثانية (المعيار الوطني). بعد إيقاف التشغيل لمدة 12 ساعة، تكون درجة الفراغ ≤5 باسكال.

3. سرعة الضخ: وقت الضخ: الضغط الجوي ~ 5×10-4 باسكال أقل من 20 دقيقة

1. هيكل على شكل درج، يحمل عينة بحد أقصى 150*150 مم، ومجهز بحاجز ركيزة هوائي.

2. المسافة بين الركيزة ومصدر التبخر قابلة للتعديل كهربائيًا، والمسافة القصوى لتعديل الرفع الكهربائي هي 60 مم.

3. مرحلة العينة قابلة للدوران مع وظيفة التبريد المائي: سرعة دوران مرحلة العينة قابلة للتعديل باستمرار من 0 إلى 30 دورة في الدقيقة.

1. آلة طلاء التبخير بحزمة الإلكترونات عالية الفراغ مجهزة بمجموعتين من مصادر التبخير من نوع القارب. يعتمد المصدر المعدني على قطب نحاسي مبرد بالماء + هيكل قارب التبخير (أقصى درجة حرارة 1500 درجة). آلة طلاء التبخير بحزمة الإلكترونات عالية الفراغ مجهزة بمصدر طاقة تبخير 2.4 كيلو وات. يحتوي مصدر طاقة مصدر التبخير على وضعي قيادة: تيار مستمر وجهد ثابت، يمكن تبديلهما. يمكن التحكم في مصدر طاقة التبخير بواسطة برنامج أو يدويًا. يمكن لمصدر طاقة التبخير أيضًا ضبط معدل التبخير تلقائيًا من خلال مقياس سمك الفيلم معرف المنتج (التحكم في الحلقة المغلقة). مع شاشة رقمية.

2. آلة طلاء التبخر بحزمة الإلكترون عالية الفراغ مجهزة بأربع مجموعات من أفران مصدر حزمة التبخر العضوي، وأربعة مصادر طاقة للتبخر العضوي، ومصادر تبخر عضوية مع وظيفة عرض درجة الحرارة، وأفران مصدر الحزمة العضوية تستخدم وحدات تحكم في درجة الحرارة الموصلة اليابانية. مجهزة بأربع مجموعات من الأواني، درجة حرارة التسخين: 0-700 درجة مئوية؛ نطاق زاوية قابل للتعديل: 0-15 درجة.

1. مصدر الطاقة: تيار مستمر 5 فولت (±10%)، الحد الأقصى للتيار 400 مللي أمبير.

2. دقة التردد: ±0.03 هرتز.

3. دقة سمك الفيلم: 0.0136Å (الألومنيوم).

4. دقة سماكة الفيلم: ±0.5%، اعتمادًا على ظروف العملية، وخاصة موضع المستشعر، وضغط المادة، ودرجة الحرارة والكثافة.

5. سرعة القياس: 100 مللي ثانية - 1 ثانية / مرة، قابلة للتعديل.

6. نطاق القياس: 500000Å (الألومنيوم).