آلة رش البلازما المغناطيسية الصغيرة ذات التيار المستمر

1. طاقة الإدخال لجهاز الرش البلازمي المغناطيسي الصغير: 220 فولت تيار متردد 50/60 هرتز

2. قوة آلة طلاء الرش المغناطيسية ذات التيار المستمر في المختبر: أقل من 1000 واط

3. جهد الخرج لآلة طلاء الرش المغناطيسية ذات التيار المستمر: 500 فولت تيار مستمر

4. تيار الرش: 0-80 مللي أمبير، قابل للتعديل

5. وقت الرش: 0-120 ثانية، قابل للتعديل

1. أبعاد حجرة الكوارتز: القطر الخارجي 166 مم × القطر الداخلي 150 مم × الارتفاع 150 مم

2. الختم: حلقة مطاطية من الفلور

٣. يُركّب مصراع يدوي التشغيل على غطاء الشفة لرشّ الهدف مسبقًا. يُستخدم وصلة ضغط بقطر ٦.٣٥ مم كمنفذ لتوصيل أنبوب مدخل الهواء. ويُستخدم صمام تنفيس هواء يدوي لملء حجرة الكوارتز بالهواء.

4. تغطي شبكة من الفولاذ المقاوم للصدأ حجرة الكوارتز بأكملها لحماية البلازما.

5. يتم التحكم في تدفق الغاز العامل إلى الغرفة عن طريق ضبط صمام التحكم الدقيق الموجود على الجانب الأيمن من الغلاف، وبالتالي ضبط مستوى الفراغ داخل الغرفة.

6. يتم التحكم في تيار الرش عن طريق ضبط مقياس الجهد الموجود على الجانب الأيمن من الغلاف.

١. رأس هدف رش مغناطيسي بقطر بوصتين بدون تبريد مائي. أقصى درجة حرارة تشغيل له هي ٨٠ درجة مئوية. عند تجاوزها، يفقد مغناطيسيته ويصبح غير صالح للاستخدام.

2. وقت الرش: قابل للتعديل من 1 إلى 120 ثانية

3. تم تضمين هدف النحاس القياسي

4. متطلبات حجم الهدف: φ2" x (0.5-5) مم سمك

5. مناسب لرش الذهب والفضة والنحاس والمعادن الأخرى (متوفر للشراء في شركتنا).

1. منصة عينة ذات ارتفاع قابل للتعديل، مع مسافة قابلة للتعديل بين منصة العينة والهدف 25-70 ملم.

2. حجم مرحلة العينة: φ2"

3. تسخين مرحلة العينة اختياريًا، مع درجة حرارة تسخين قصوى تبلغ 500 درجة مئوية.

1. نطاق القياس: 1 × 10-4 ملي بار إلى 1000 ملي بار (1 × 10-4 إلى 750 تور)

2. الدقة: من 1000 ملي بار إلى 20 ملي بار (30% من القراءة)

20 إلى 0.002 ملي بار (2% من القراءة)

3. التكرار: 20 إلى 0.002 ملي بار (0.000 إلى 0.002 ملي بار) 2٪

4. رطوبة التشغيل: ≤80% عند 30 درجة مئوية، ≤50% عند 40 درجة مئوية، بدون تكاثف؛

5. درجة حرارة التشغيل: 5°C-60°C

1. تم تركيب مقياس سماكة الفيلم الاهتزازي الكوارتزي الدقيق على الجهاز، مما يتيح مراقبة سماكة الفيلم في الوقت الفعلي بدقة 0.10 Å.

2. توفر شاشة قاد عرضًا وإدخالًا لبيانات سماكة الفيلم.

1. النموذج: في آر دي-8

2. معدل الضخ: 2.2 لتر/ثانية

3. قوة المحرك: 370 واط

4. الضغط الأقصى: 5 × 10-1 باسكال (غير محمل)

5. الضغط الفعلي: ≤ 5 باسكال (ضخ ميكانيكي لمدة 20 دقيقة في ظروف باردة)

6. لمستويات الفراغ الأعلى (10-5 طن أو أفضل)، تتوفر وحدات فراغ عالية محلية أو مستوردة.

الأبعاد: 500 مم × 350 مم × 550 مم (الطول × العرض × الارتفاع)

الوزن: حوالي 20 كجم (باستثناء مضخة التفريغ ومعدات تبريد المياه)

1. هناك حاجة إلى دورات رش متعددة لتحقيق سمك الفيلم المطلوب.

2. قبل الرش، تأكد من نظافة رأس الرش والهدف والركيزة ومرحلة العينة.

3. لضمان الالتصاق الجيد بين الفيلم والركيزة، قم بتنظيف سطح الركيزة قبل الرش.

ضمان لمدة عام واحد ودعم فني مدى الحياة.

ملاحظات خاصة:

1. لا يشمل الضمان المواد الاستهلاكية مثل عناصر التسخين وأنابيب الكوارتز وأواني العينات.

2. لا يشمل الضمان الأضرار الناجمة عن استخدام الغازات المسببة للتآكل والحمضية.

· يجب ألا يتجاوز الضغط داخل الحجرة 0.02 ميجا باسكال (الضغط النسبي).

نظرًا لارتفاع الضغط الداخلي لأسطوانة الغاز نسبيًا، يجب تركيب صمام تخفيض ضغط عليها عند إدخال الغاز في أنبوب الكوارتز. لضمان السلامة، نوصي بتشغيل ضغط أقل من 0.02 ميجا باسكال. ننصح بشراء صمام تخفيض ضغط من شركتنا، يتراوح نطاقه بين 0.01 و0.1 ميجا باسكال، لمزيد من الدقة والسلامة.

لا نوصي باستخدام الغازات القابلة للاشتعال أو المتفجرة أو السامة. إذا تطلبت عمليتك استخدام غازات قابلة للاشتعال أو متفجرة أو سامة، يُرجى اتخاذ التدابير الوقائية المناسبة والمضادة للانفجار. شركتنا غير مسؤولة عن أي مشاكل ناجمة عن استخدام الغازات القابلة للاشتعال أو المتفجرة أو السامة.