-
نظام ترسيب البخار الكيميائي المعزز بالبلازما عالي التفريغ (بيكفد)
بيكفد ذات اللوحة المتوازية هي تقنية تستخدم البلازما لتنشيط الغازات التفاعلية لتعزيز التفاعلات الكيميائية على سطح الركيزة أو الفضاء القريب من السطح لتشكيل أفلام الحالة الصلبة. المبدأ الأساسي لتقنية ترسيب البخار الكيميائي للبلازما هو أنه تحت تأثير المجال الكهربائي عالي التردد أو التيار المستمر، يتم تأين الغاز المصدر لتكوين البلازما، ويتم استخدام البلازما ذات درجة الحرارة المنخفضة كمصدر للطاقة، ويتم توفير كمية مناسبة من الغاز التفاعلي. يتم تقديمه، ويتم استخدام تفريغ البلازما لتنشيط الغاز التفاعلي وتشكيل ترسيب البخار الكيميائي.
Send Email تفاصيل
