نظام الترسيب الكيميائي للبخار المعزز بالبلازما عالية الفراغ (بي إي سي في دي)

شروط التثبيت

1. درجة الحرارة المحيطة: 10 درجة مئوية إلى 35 درجة مئوية

2. الرطوبة النسبية: لا تزيد عن 75%

3. مصدر الطاقة: 220 فولت، أحادي الطور، 50±0.5 هرتز

4. قوة المعدات: أقل من 4 كيلو واط

5. إمداد المياه: ضغط المياه 0.2 ميجا باسكال إلى 0.4 ميجا باسكال، درجة حرارة المياه 15 درجة مئوية إلى 25 درجة مئوية

6. يجب أن تكون البيئة المحيطة بالمعدات نظيفة، ويجب أن يكون الهواء نظيفًا، ويجب ألا يكون هناك غبار أو غاز يمكن أن يسبب التآكل على الأجهزة الكهربائية أو الأسطح المعدنية الأخرى أو يسبب التوصيل بين المعادن.

المعلمات الرئيسية

(مواصفة)

1. يعتمد النظام على هيكل أنبوبي واحد وباب أمامي يدوي.

٢. جميع مكونات وملحقات غرفة التفريغ مصنوعة من الفولاذ المقاوم للصدأ عالي الجودة (٣٠٤)، ومُستخدمة في لحام قوس الأرجون، وسطحها معالج بتفجير الزجاج والتلميع الكهروكيميائي والتخميل. وهي مزودة بنافذة للمراقبة البصرية وحاجز/مصراع. أبعاد غرفة التفريغ هي ٣٠٠ مم × ٣٠٠ مم.

3. حد درجة الفراغ: 8.0×10^-5حسنًا

(بعد الخبز وإزالة الغازات، استخدم مضخة جزيئية بقوة 600 لتر/ثانية لضخ الهواء، واستخدم 4 لتر/ثانية للمرحلة الأمامية)؛

معدل تسرب اكتشاف تسرب فراغ النظام: ≤5.0×10^-7با.ل/س؛

يبدأ النظام بضخ الهواء من الغلاف الجوي إلى 8.0×10^-4باسكال، والتي يمكن الوصول إليها في 40 دقيقة؛ درجة الفراغ بعد توقف المضخة لمدة 12 ساعة: ≤20 باسكال

4. طريقة الاقتران السعوي مع العينة في الأسفل والرشاش في الأعلى؛

5. الحد الأقصى لدرجة حرارة تسخين العينة: 500 درجة مئوية، ودقة التحكم في درجة الحرارة: ±1 درجة مئوية، ويتم استخدام مقياس التحكم في درجة الحرارة للتحكم في درجة الحرارة.

6. حجم رأس الرشاش: Φ90 مم، المسافة بين رأس الرشاش والعينة قابلة للتعديل باستمرار عبر الإنترنت بين 15 و50 مم (يمكن تعديلها وفقًا لمتطلبات العملية)، مع شاشة عرض مؤشر المقياس

7. فراغ العمل الترسيبي: 13.3-133 باسكال (يمكن تعديله وفقًا لمتطلبات العملية)

8. مصدر طاقة ترددات الراديو: تردد 13.56 ميجاهرتز، أقصى طاقة 300 وات مطابقة تلقائية

9. نوع الغاز (يوفره المستخدمون)، التكوين القياسي هو وحدة تحكم الجودة 100cccm ذات قناتين، يمكن للمستخدمين تغيير تكوين دائرة الغاز وفقًا لمتطلبات العملية.

10. نظام معالجة غازات العادم (مقدم من قبل المستخدمين)