نظام ترسيب البخار الكيميائي المعزز بالبلازما عالي التفريغ (بيكفد)

شروط التثبيت

1. درجة الحرارة المحيطة: 10°C～35°C

2. الرطوبة النسبية: لا تزيد عن 75%

3. مصدر الطاقة: 220 فولت، أحادي الطور، 50±0.5 هرتز

4. طاقة المعدات: أقل من 4kW

5. إمداد المياه: ضغط الماء من 0.2MPa～0.4MPa، درجة حرارة الماء من 15°C～25°C

6. يجب أن تكون البيئة المحيطة بالمعدات مرتبة، ويجب أن يكون الهواء نظيفًا، ويجب ألا يكون هناك غبار أو غاز يمكن أن يسبب تآكل الأجهزة الكهربائية أو الأسطح المعدنية الأخرى أو يسبب التوصيل بين المعادن.

المعلمات الرئيسية

(تخصيص)

1. يعتمد النظام هيكل الأنبوب المفرد والباب الأمامي اليدوي.

2. مكونات وملحقات حجرة الفراغ كلها مصنوعة من الفولاذ المقاوم للصدأ عالي الجودة (304)، لحام قوس الأرجون، ويتم معالجة السطح بتفجير الزجاج والتلميع الكهروكيميائي والتخميل. وهي مجهزة بنافذة مراقبة بصرية وحاجز/مصراع. حجم غرفة الفراغ هو Φ300mm×300mm.

3. حد درجة الفراغ: 8.0×10^-5حسنًا

(بعد الخبز وتفريغ الغاز، استخدم مضخة جزيئية 600L/S لضخ الهواء، واستخدم 4L/S للمرحلة الأمامية)؛

معدل التسرب لاكتشاف تسرب فراغ النظام: .05.0×10^-7بال.ل/س؛

يبدأ النظام بضخ الهواء من الغلاف الجوي إلى 8.0×10^-4بنسلفانيا، والتي يمكن الوصول إليها في 40 دقيقة؛ درجة الفراغ بعد توقف المضخة لمدة 12 ساعة: ≥20 باسكال

4. طريقة الاقتران السعوي مع العينة في الأسفل والرشاش في الأعلى؛

5. أقصى درجة حرارة تسخين للعينة: 500 درجة مئوية، دقة التحكم في درجة الحرارة: ±1 درجة مئوية، ويتم استخدام مقياس التحكم في درجة الحرارة للتحكم في درجة الحرارة.

6. حجم رأس الرشاش: Φ90mm، تباعد القطب الكهربائي بين رأس الرشاش والعينة قابل للتعديل بشكل مستمر عبر الإنترنت بين 15 و50 مم (يمكن تعديله وفقًا لمتطلبات العملية)، مع عرض مؤشر المقياس

7. فراغ عمل الترسيب: 13.3-133Pa (يمكن تعديله وفقًا لمتطلبات العملية)

8. مصدر طاقة الترددات اللاسلكية: تردد 13.56 ميجاهرتز، أقصى قدر من الطاقة 300 وات مطابقة تلقائية

9. نوع الغاز (مقدم من قبل المستخدمين)، التكوين القياسي هو وحدة تحكم الجودة بقناتين 100cccm، يمكن للمستخدمين تغيير تكوين دائرة الغاز وفقًا لمتطلبات العملية.

10. نظام معالجة غاز العادم (مقدم من قبل المستخدمين)