نظام ترسيب الليزر النبضي الكروي
هذا النظام هو جهاز بحث وتطوير لنظام ترسيب الليزر النبضي الكروي (PLD). تُستخدم تقنية ترسيب الليزر النبضي على نطاق واسع، ويمكن استخدامها لتحضير أغشية رقيقة من مواد متنوعة، مثل المعادن، وأشباه الموصلات، والأكاسيد، والنتريدات، والكربيدات، والبوريدات، والسيليكات، والكبريتيدات، والفلوريدات. كما تُستخدم أيضًا لتحضير أغشية من مواد يصعب تصنيعها، مثل أغشية الماس والنتريد المكعب.
- Shenyang Kejing
- شنيانغ، الصين
- 44 يوم عمل
- 50 مجموعة
- معلومات
مقدمة المنتج
النظام ترسيب الليزر النبضي الكروي (PLD)منصة بحث وتطوير عالية الأداء، مصممة لتصنيع الأغشية الرقيقة المتقدمة. ترسيب الليزر النبضي (PLD) هو تقنية تُركز فيها شعاع ليزر عالي الطاقة على مساحة صغيرة من المادة المستهدفة. تُبخّر كثافة الطاقة العالية أو تؤين جزءًا من المادة المستهدفة، مما يُؤدي إلى انتقال المادة المقذوفة نحو الركيزة، حيث تتكثف لتُشكّل غشاءً رقيقًا.
من بين طرق تحضير الأغشية الرقيقة المتنوعة، استُخدمت تقنية PLD على نطاق واسع لترسيب مجموعة واسعة من المواد، بما في ذلك المعادن، وأشباه الموصلات، والأكاسيد، والنتريدات، والكربيدات، والبوريدات، والسيليكات، والكبريتيدات، والفلوريدات. كما أنها قادرة على تصنيع أغشية من مواد يصعب تصنيعها بطرق أخرى، مثل الماس ونتريد البورون المكعب (c-ب ن).
النظام PLD الكروييتميز بتصميم حجرة تفريغ كروية، ويستخدم نبضات ليزر عالية الطاقة (طاقة < 4 كيلوواط) لتبخير دقيق للهدف، مما يتيح ترسيبًا موحدًا لأغشية رقيقة من المعادن والأكاسيد والنتريدات. تضمن قدرته العالية على التفريغ نقاءً استثنائيًا للأغشية. يسمح تجميع الهدف الدوار بأربعة مواضع بترسيب متسلسل متعدد المواد دون كسر التفريغ.
صُمم النظام بغرفة من الفولاذ المقاوم للصدأ مزودة بنافذة مراقبة ومدخل غاز يتم التحكم فيه بواسطة إم إف سي، وهو يدعم التجارب التي تتضمن مواد مقاومة للحرارة مثل الماس والنتريدات المكعبة. يُعد هذا الجهاز مثاليًا للجامعات ومعاهد البحث التي تُجري دراسات متقدمة على الأغشية الرقيقة، وخاصةً تلك التي تتطلب تحكمًا دقيقًا في تركيب الأغشية وبنيتها الدقيقة.
الميزات الرئيسية
1. تصميم غرفة التفريغ الكروية:مصنوع من الفولاذ المقاوم للصدأ 304 بتقنية لحام قوس الأرجون، مما يوفر قطرًا فعالًا للغرفة يبلغ Φ300 مم. مزود بنافذة مراقبة مرئية لمراقبة التجربة في الوقت الفعلي.
2. أداء فراغ عالي للغاية:يحقق فراغًا نهائيًا عاليًا للغاية وسرعة ضخ سريعة ومعدل تسرب منخفض.
3. الترسيب الدقيق بالليزر:يستخدم نبضات الليزر عالية الطاقة (<4 كيلو وات) لتبخير المواد المستهدفة، مما يدعم ترسب الأغشية الرقيقة من المعادن والأكاسيد والنتريدات والمواد المركبة الأخرى.
4. نظام الدوران بأربعة أهداف:يتميز بالدوران الكوكبي والدوران الذاتي مع التعرض لهدف واحد من خلال مصراع، مما يتيح الترسيب المستمر لمواد متعددة.
5. حامل الركيزة عالية الحرارة:يوفر التحكم الدقيق في درجة الحرارة وسرعة الدوران القابلة للتعديل لتلبية متطلبات العملية المعقدة.
6. التوافق مع درجة البحث:قادرة على تحضير المواد المقاومة للحرارة مثل الماس وأفلام النتريد المكعب، وهي مثالية للبحث والتطوير في المواد المتقدمة.
7. تكوين السلامة الذكي:مجهزة بأنظمة مدمجة للخبز والإضاءة وإنذار ضغط الماء؛ ويضمن مدخل الغاز الذي يتم التحكم فيه بواسطة إم إف سي (0–100 SCCM) ظروف عملية مستقرة.
8. القدرة على الاسترداد السريع:يحافظ على الفراغ ≤20 باسكال بعد إيقاف تشغيل المضخة لمدة 12 ساعة، مما يحسن الكفاءة التجريبية.
9. الهيكل المعياري:مسافة قابلة للتعديل بين حامل الركيزة ونظام الهدف الدوار للتكيف المرن مع إعدادات الترسيب المختلفة.
10. مُحسّن للإنتاج على نطاق صغير:مناسب للجامعات ومعاهد الأبحاث، ويجمع بين البحث الاستكشافي وتصنيع الأغشية الرقيقة بدقة.
تالمعايير الفنية
اسم المنتج | نظام ترسيب الليزر النبضي الكروي (PLD) |
شروط التثبيت | 1. درجة الحرارة المحيطة: 10 درجة مئوية إلى 35 درجة مئوية 2. الرطوبة النسبية: لا تزيد عن 75% 3. مصدر الطاقة: 220 فولت، أحادي الطور، 50±0.5 هرتز 4. قوة المعدات: أقل من 4 كيلو واط 5. إمداد المياه: ضغط المياه 0.2 ميجا باسكال ~ 0.4 ميجا باسكال، درجة حرارة المياه 15 درجة مئوية ~ 25 درجة مئوية، 6. يجب أن تكون البيئة المحيطة بالمعدات نظيفة، ويجب أن يكون الهواء نظيفًا، ويجب ألا يكون هناك غبار أو غاز يمكن أن يسبب التآكل على الأجهزة الكهربائية أو الأسطح المعدنية الأخرى أو يسبب التوصيل بين المعادن. |
المعلمات الرئيسية (مواصفة) | 1. يعتمد النظام على هيكل كروي وباب أمامي يدوي. 2. جميع مكونات وإكسسوارات غرفة التفريغ مصنوعة من الفولاذ المقاوم للصدأ عالي الجودة (304)، ولحام قوس الأرجون، ويتم معالجة السطح بالتفجير الزجاجي والتلميع الكهروكيميائي والتخميل. ٣. حجرة التفريغ مُجهزة بنافذة مراقبة بصرية. الحجم الفعال لها هو Φ٣٠٠ مم. 4. حد درجة الفراغ: ≤6.67×10-5(بعد الخبز وإزالة الغازات، استخدم مضخة جزيئية بقوة 600 لتر/ثانية لضخ الهواء، واستخدم 8 لتر/ثانية للمرحلة الأمامية)؛ · معدل تسرب اكتشاف تسرب فراغ النظام: ≤5.0×10-7با.ل/س؛ · يبدأ النظام بضخ الهواء من الغلاف الجوي إلى 8.0×10-4با، والتي يمكن الوصول إليها في 40 دقيقة؛ · درجة الفراغ بعد توقف المضخة لمدة 12 ساعة: ≤20 باسكال 5. مرحلة العينة: حجم العينة هو φ40 مم، وسرعة الدوران هي 1-20 دورة في الدقيقة، والمسافة بين مرحلة الركيزة وهدف الدوران هي 40-90 مم. 6. الحد الأقصى لدرجة حرارة تسخين العينة: 800 درجة مئوية، ودقة التحكم في درجة الحرارة: ±1 درجة مئوية، ويتم استخدام مقياس التحكم في درجة الحرارة للتحكم في درجة الحرارة. 7. هدف الدوران بأربع محطات: كل موضع هدف هو φ40 مم، ويتم عرض موضع هدف واحد فقط على الحاجز/الغالق، ويتطلب الأمر أن يضرب شعاع الليزر موضع الهدف العلوي، والهدف الدوراني لديه وظائف الثورة والدوران التلقائي. 8. يتم تركيب أجهزة الخبز والإضاءة وإنذار ضغط الماء في حجرة التفريغ 9. مقياس تدفق الكتلة أحادي الاتجاه إم إف سي (للتحكم في هواء السحب): 0-100 سم مكعب |
ضمان
سنة واحدة محدودة مع دعم مدى الحياة (لا يشمل الأجزاء الصدئة بسبب ظروف التخزين غير الكافية)
الخدمات اللوجستية
