-
نظام ترسيب البخار الكيميائي المعزز بالبلازما عالي التفريغ (بيكفد)
بيكفد ذات اللوحة المتوازية هي تقنية تستخدم البلازما لتنشيط الغازات التفاعلية لتعزيز التفاعلات الكيميائية على سطح الركيزة أو الفضاء القريب من السطح لتشكيل أفلام الحالة الصلبة. المبدأ الأساسي لتقنية ترسيب البخار الكيميائي للبلازما هو أنه تحت تأثير المجال الكهربائي عالي التردد أو التيار المستمر، يتم تأين الغاز المصدر لتكوين البلازما، ويتم استخدام البلازما ذات درجة الحرارة المنخفضة كمصدر للطاقة، ويتم توفير كمية مناسبة من الغاز التفاعلي. يتم تقديمه، ويتم استخدام تفريغ البلازما لتنشيط الغاز التفاعلي وتشكيل ترسيب البخار الكيميائي.
Send Email تفاصيل -
نظام الترسيب بالليزر النبضي الكروي
هذا النظام عبارة عن معدات بحث وتطوير لنظام الترسيب بالليزر النبضي الكروي (PLD
). تُستخدم تقنية ترسيب الليزر النبضي على نطاق واسع ، ويمكن استخدامها لإعداد أغشية رقيقة من مواد مختلفة مثل المعادن وأشباه الموصلات والأكاسيد والنتريد والكربيدات والبوريدات ومبيدات السيليكات والكبريتيدات والفلوريدات. بل إنه يستخدم في تحضير بعض أغشية المواد التي يصعب تركيبها ، مثل أفلام الألماس والنتريد المكعب.Send Email تفاصيل
