نظام ترسيب الليزر النبضي الكروي

شروط التثبيت

1. درجة الحرارة المحيطة: 10°C～35°C

2. الرطوبة النسبية: لا تزيد عن 75%

3. مصدر الطاقة: 220 فولت، أحادي الطور، 50±0.5 هرتز

4. طاقة المعدات: أقل من 4KW

5. إمدادات المياه: ضغط المياه من 0.2MPa～0.4MPa، درجة حرارة الماء من 15°C～25°C،

6. يجب أن تكون البيئة المحيطة بالمعدات مرتبة، ويجب أن يكون الهواء نظيفًا، ويجب ألا يكون هناك غبار أو غاز يمكن أن يسبب تآكل الأجهزة الكهربائية أو الأسطح المعدنية الأخرى أو يسبب التوصيل بين المعادن.

المعلمات الرئيسية

(تخصيص)

1. يعتمد النظام هيكل كروي وباب أمامي يدوي.

2. مكونات وملحقات حجرة الفراغ كلها مصنوعة من الفولاذ المقاوم للصدأ عالي الجودة (304)، لحام قوس الأرجون، ويتم معالجة السطح بتفجير الزجاج والتلميع الكهروكيميائي والتخميل.

3. غرفة التفريغ مجهزة بنافذة مراقبة بصرية. الحجم الفعال لغرفة الفراغ هو Φ300mm.

4. حد درجة الفراغ: .66.67×10^-5بنسلفانيا (بعد الخبز وتفريغ الغاز، استخدم مضخة جزيئية 600L/S لضخ الهواء، واستخدم 8L/S للمرحلة الأمامية)؛

معدل التسرب لاكتشاف تسرب فراغ النظام: .05.0×10^-7بال.ل/س؛&نبسب;

يبدأ النظام بضخ الهواء من الغلاف الجوي إلى 8.0×10^-4بنسلفانيا، والتي يمكن الوصول إليها في 40 دقيقة؛&نبسب;

درجة الفراغ بعد توقف المضخة لمدة 12 ساعة: ≥20 باسكال

5. مرحلة العينة: حجم العينة هو φ40mm، وسرعة الدوران هي 1-20RPM، والمسافة بين مرحلة الركيزة وهدف الدوران هي 40-90mm.

6. أقصى درجة حرارة تسخين للعينة: 800 درجة مئوية، دقة التحكم في درجة الحرارة: ±1 درجة مئوية، ويتم استخدام مقياس التحكم في درجة الحرارة للتحكم في درجة الحرارة.

7. هدف دوران بأربع محطات: كل موضع هدف هو φ40mm، موضع هدف واحد فقط مكشوف على الحاجز/المصراع، شعاع الليزر مطلوب للوصول إلى موضع الهدف العلوي، وهدف الدوران لديه وظائف الثورة والدوران التلقائي.

8. يتم تركيب أجهزة إنذار للخبز والإضاءة وضغط الماء في غرفة التفريغ

9. مقياس تدفق الكتلة أحادي الاتجاه MFC (للتحكم في هواء السحب): 0-100cccm