الصفحة الداخلية

جهاز طلاء الرش البلازمي المغناطيسي عالي الفراغ ثنائي الرأس

إن جهاز طلاء الرش المغناطيسي ثنائي الرأس VTC-600-2HD هو جهاز طلاء عالي الفراغ تم تطويره حديثًا من قبل شركتنا، ويُستخدم لإعداد فيلم كهربائي حديدي أحادي الطبقة أو متعدد الطبقات، وفيلم موصل، وفيلم سبيكة، وفيلم أشباه الموصلات، والأفلام الخزفية، والفيلم العازل، والفيلم البصري، وفيلم أكسيد، والفيلم الصلب، وفيلم مادة البولي تترافلوروإيثيلين، إلخ. تم تجهيز جهاز طلاء الرش المغناطيسي ثنائي الرأس VTC-600-2HD بمدفعين مستهدفين ومصدرين للطاقة، مصدر طاقة ترددات الراديو واحد لطلاء الرش للمواد غير الموصلة، ومصدر طاقة دي سي واحد لطلاء الرش للمواد الموصلة.

  • Shenyang Kejing
  • شنيانغ، الصين
  • 22 يوم عمل
  • 50 مجموعة
  • معلومات

مقدمة المنتج

جهاز طلاء الرش المغناطيسي ثنائي الرأس VTC-600-2HD هو نظام طلاء عالي التفريغ مطور حديثًا، صممته وصنعته شركتنا بشكل مستقل. وهو مناسب لتحضير أغشية أحادية أو متعددة الطبقات، مثل الأغشية الفيروكهربائية، والأغشية الموصلة، والأغشية السبائكية، والأغشية شبه الموصلة، والأغشية الخزفية، والأغشية العازلة، والأغشية البصرية، والأغشية الأكسيدية، والطلاءات الصلبة، وأغشية بولي تترافلوروإيثيلين (مادة البولي تترافلوروإيثيلين).

هذا النظام مُجهّز بمسدسَي رشّ ومصدرَي طاقة - مصدر طاقة تردد لاسلكي لرشّ المواد غير الموصلة، ومصدر طاقة تيار مستمر لرشّ المواد الموصلة. كما يُمكن ضبط هدف مغناطيسي قويّ اختياري لرشّ المواد المغناطيسية الحديدية. بالمقارنة مع الأجهزة المماثلة، يتميز جهاز VTC-600-2HD بتصميمه المدمج، وسهولة تشغيله، وتوافقه الواسع مع مختلف المواد، مما يجعله أداةً مثاليةً لتحضير الأغشية الرقيقة على نطاق المختبر عبر أنظمة مواد مُختلفة.


الميزات الرئيسية

1. إنه مزود بمدفعين هدفين، يتم استخدام مصدر طاقة ترددات الراديو واحد لطلاء المواد غير الموصلة بالرش، ويتم استخدام مصدر طاقة دي سي واحد لطلاء المواد الموصلة بالرش.

2. يمكن تحضير مجموعة متنوعة من الأغشية الرقيقة ذات مجموعة واسعة من التطبيقات.

3. حجم صغير وسهل التشغيل


تالمعايير الفنية

اسم المنتج

جهاز طلاء الرش المغناطيسي ثنائي الرأس VTC-600-2HD

نموذج المنتج

في تي سي-600-2HD

شروط التثبيت


1. متطلبات طاولة العمل:
   · الأبعاد: الطول 1300 مم × العرض 750 مم × الارتفاع 700 مم؛ سعة التحميل ≥ 200 كجم.

2.إمدادات المياه:
   · مزود بمبرد ذاتي الدوران كيه جيه-5000 (يستخدم الماء النقي أو منزوع الأيونات).

3.إمدادات الغاز:
  · يتطلب غاز الأرجون (نقاء ≥99.99%).
  · يجب على المستخدم تحضير أسطوانة الأرجون الخاصة به (مع تركيب مزدوج بقطر Ø6 مم) ومنظم الضغط.

4. التهوية:
  · يجب أن يكون موقع التثبيت جيد التهوية (قد يتم تركيب نظام عادم إضافي إذا لزم الأمر).

5. مصدر الطاقة:  

  · أحادي الطور: تيار متردد 220 فولت 50 هرتز، 10 أمبير.
  · يجب تركيب مفتاح هواء 16 أمبير في مصدر الطاقة.

6. الظروف البيئية:  

  · درجة حرارة التشغيل: 25 درجة مئوية ± 15 درجة مئوية؛ الرطوبة: ≤55% رطوبة نسبية ± 10%.  

  · يجب أن تكون البيئة جافة وخالية من الغبار والغازات القابلة للاشتعال أو الانفجار.

المعلمات الرئيسية

(مواصفة)

فئة

مواصفة

ملاحظات

نظام الفراغ

حجم حجرة التفريغ: D φ295 × H265 مم

-

مجموعة مضخة التفريغ:

• مضخة توربينية: هيباس 80
• مضخة الدعم: مضخة الحجاب الحاجز MVP015-2DC

فايفر الأصلي (ألمانيا)

الفراغ الأساسي: 5.0E-3 باسكال (5.0E-5 هكتوباسكال)

الفراغ الأساسي المطلوب قبل الترسيب

الفراغ النهائي: 5.0E-4 باسكال (5.0E-6 هكتوباسكال)

متأثر ببيئة الموقع وضيق النظام

ضغط العمل: 0.1–5 باسكال (0.001–0.05 هيكتوباسكال)

بشكل أساسي الأرجون؛ ويمكن إضافة الغازات التفاعلية

سرعة الضخ:

• مضخة خط أمامي 1 متر مكعب/ساعة؛ مضخة توربينية 67 لتر/ثانية

يعتمد وقت التنظيف بالمكنسة الكهربائية على سرعة الضخ

صتكوين مصدر الطاقة

نوع الطاقة والكمية:

تيار مستمر ×1، تردد لاسلكي ×1

دي سي: للأهداف المعدنية، ترددات الراديو: للأهداف العازلة؛ (يمكن اختيار هدف مغناطيسي قوي يتوافق مع نوع الطاقة)

نطاق طاقة الإخراج:

• تيار مستمر: 0-500 واط

• تردد الراديو: 0-300 واط

القوة أووضع الإخراج / الحد الأقصى لطاقة الإخراج

مطابقة المقاومة: 50Ω

يضمن كفاءة نقل الطاقة واستقرارها

التحكم في الغاز

غاز العمل: قياسيد: الأرجون (أر)

الموصى به: أر، نقاء 99.999

تدفق الغاز(قناتين)

• القناة 1: 1–100 سم مكعب قياسي
• القناة 2: 1-200 سم مكعب قياسي

اليمكن تخصيص أنواع أخرى من الغازات الواقية إذا لزم الأمر

دقة مقياس التدفق: ±1% ف س

-
مرحلة العينة الدوارةحجم المسرح: Ø132 مم

≈5.2 بوصة

سرعة الدوران: 1-20 دورة في الدقيقة

يحسن تجانس الفيلم

درجة حرارة التسخين: آر تي~500 درجة مئوية

درجة حرارة سطح مرحلة العينة

دقة درجة الحرارة: ±1 درجة مئوية

-

هدف مغناطيسي

الكمية المستهدفة: 2 قطعة

يمكن استخدامها بشكل مستقل أو في وقت واحد

الحجم المستهدف: Ø2 بوصة، سمك 0.1-5 مم

يختلف السمك حسب المادة المستهدفة

مسافة الهدف-الركيزة: 85-115 مم قابلة للتعديل

المسافة الأكبر تعمل على تحسين التوحيد، وتقلل المعدل قليلاً

طريقة التبريد: تبريد الماء

دوران المياه لتبريد الهدف

أداء الترسيب وغيره

تجانس الفيلم: ±5% (للركيزة Ø100 مم)

العوامل الرئيسية: تحسين المسافة بين الهدف والركيزة وسرعة الدوران

نطاق سمك الفيلم: 10 نانومتر - 10 ميكرومتر

قد يؤدي السُمك الزائد إلى حدوث تشققات إجهادية

الحد الأقصى لقوة الإدخال:

• الوحدة الرئيسية: 500 واط؛

• مصدر الطاقة ترددات الراديو: 1100 واط؛

• مصدر طاقة التيار المستمر: 750 واط

يتم تشغيل الوحدة الرئيسية ومصدر الطاقة ترددات الراديو ومصدر الطاقة دي سي وجهاز مراقبة سمك الفيلم بشكل مستقل

طاقة الإدخال:

• تيار متردد أحادي الطور 220 فولت 50/60 هرتز

أبعاد الوحدة الرئيسية: 600 مم × 750 مم × 900 مم

الارتفاع مع الغطاء مفتوحًا: 1050 مم

الالأبعاد الكلية: 1300 متر × 750 مم × 900 مم

أنايشمل مساحة التحكم والمضخة

الوزن الإجمالي: 160 كجمهيكل مدمج ذو مساحة صغيرة


الملحقات القياسية

لا.

اسم

الكمية

صورة

1

نظام التحكم في مصدر الطاقة المستمر

مجموعة واحدة

-
2

نظام التحكم في مصدر الطاقة ترددات الراديو

مجموعة واحدة

-
3

نظام مراقبة سماكة الفيلم

مجموعة واحدة

-
4

مضخة توربو

(مستوردة أو محلية من ألمانيا بسرعة ضخ أعلى)

وحدة واحدة

-
5

مبرد

وحدة واحدة

-
6

أنابيب بوليستر بولي يوريثين (Ø6 مم)

-


الملحقات الاختيارية

لا.اسم

فئة الوظيفة

صورة
1

مواد مستهدفة مختلفة مثل الذهب والإنديوم والفضة والبلاتين وما إلى ذلك

خياري

-
2

هدف مغناطيسي قوي اختياري لرش المواد المغناطيسية الحديدية

خياري-
3

تركيبات الترسيب الدوارة ثنائية الطبقة

خياري-


ضمان

    سنة واحدة محدودة مع دعم مدى الحياة (لا يشمل الأجزاء الصدئة بسبب ظروف التخزين غير الكافية)



الخدمات اللوجستية

plasma sputtering coater


الحصول على آخر سعر؟ سنرد في أسرع وقت ممكن (خلال 12 ساعة)
This field is required
This field is required
Required and valid email address
This field is required
This field is required
For a better browsing experience, we recommend that you use Chrome, Firefox, Safari and Edge browsers.