طلاء الرش البلازمي مع 3 مصادر رش
جهاز طلاء الرش المغناطيسي ثلاثي الرؤوس VTC-600-3HD هو جهاز طلاء تم تطويره حديثًا من قبل شركتنا، ويُستخدم لإعداد فيلم كهربائي حديدي أحادي الطبقة أو متعدد الطبقات، وفيلم موصل، وفيلم سبيكة، وفيلم أشباه الموصلات، والأفلام الخزفية، والفيلم العازل، والفيلم البصري، وفيلم أكسيد، والفيلم الصلب، وفيلم مادة البولي تترافلوروإيثيلين، إلخ. جهاز طلاء الرش المغناطيسي ثلاثي الرؤوس VTC-600-3HD مزود بثلاثة مسدسات هدف، ومصدر طاقة ترددات الراديو واحد لطلاء الرش للمواد غير الموصلة، ومصدري طاقة دي سي لطلاء الرش للمواد الموصلة.
- Shenyang Kejing
- شنيانغ، الصين
- 22 يوم عمل
- 50 مجموعة
- معلومات
مقدمة المنتج
VTC-600-3HD هو نظام ترسيب أغشية رقيقة عالي التفريغ، طورته شركتنا بشكل مستقل. صُمم هذا النظام لتحضير أنواع مختلفة من الأغشية الرقيقة الوظيفية، ويتيح ترسيبًا عالي الجودة للهياكل أحادية الطبقة ومتعددة الطبقات. يُستخدم هذا النظام على نطاق واسع في تصنيع الأغشية الكهروضوئية، والأغشية الموصلة، والأغشية السبائكية، والأغشية شبه الموصلة، والأغشية الخزفية، والأغشية العازلة، والطلاءات البصرية، والأغشية الأكسيدية، والطلاءات الصلبة، وأغشية مادة البولي تترافلوروإيثيلين.
جهاز VTC-600-3HD مُجهّز بثلاث مجموعات أهداف رشّ. أحد الأهداف مُزوَّد بمصدر طاقة تردد لاسلكي (ترددات الراديو)، وهو مُناسب للمواد غير الموصلة مثل الأكاسيد والسيراميك، بينما يُشغَّل الهدفان الآخران بمصدر طاقة تيار مستمر لرشّ المواد الموصلة مثل المعادن. يُتيح هذا التكوين توافقًا واسعًا مع مختلف المواد.
مقارنةً بالأنظمة المماثلة، يتميز هذا النموذج بتصميمه المدمج وبنيته العملية وسهولة استخدامه، مع تكامل ممتاز متعدد الوظائف. وهو مناسب بشكل خاص لمختبرات الأبحاث العاملة على تطوير ودراسة عمليات أنظمة المواد الجديدة، مثل إلكتروليتات الحالة الصلبة وأجهزة شاشة OLED. يُعدّ VTC-600-3HD نظام رش مغناطيسي مثاليًا على مستوى المختبر لأبحاث الأغشية الرقيقة المتقدمة.
الميزات الرئيسية
1. إنه مزود بثلاثة بنادق هدف، يتم استخدام مصدر طاقة ترددات الراديو واحد لطلاء الرش للمواد غير الموصلة، ويتم استخدام مصدري طاقة دي سي لطلاء الرش للمواد الموصلة (يمكن استبدال بندقية الهدف وفقًا لاحتياجات العميل).
2. يمكن تحضير مجموعة متنوعة من الأغشية الرقيقة ذات مجموعة واسعة من التطبيقات.
3. حجم صغير وسهل التشغيل
4. تصميم معياري للآلة بأكملها؛ تصميم منفصل/مقسم لغرفة التفريغ ومجموعة مضخة التفريغ وإمدادات الطاقة للتحكم، والتي يمكن تعديلها وفقًا للاحتياجات الفعلية للمستخدمين.
٥. يمكن اختيار مصدر الطاقة وفقًا لاحتياجات المستخدم. يمكن لمصدر طاقة واحد التحكم في عدة بنادق استهداف، أو يمكن لمصادر طاقة متعددة التحكم في بندقية استهداف واحدة.
تالمعايير الفنية
اسم المنتج | جهاز طلاء الرش المغناطيسي ثلاثي الرؤوس VTC-600-3HD | ||
نموذج المنتج | في تي سي-600-3HD | ||
| شروط التثبيت | ١. البيئة: درجة الحرارة المحيطة: ٢٥ درجة مئوية ± ١٥ درجة مئوية؛ الرطوبة: ≤ ٥٥٪ ± ١٠٪ رطوبة نسبية. يجب أن تكون البيئة جافة وخالية من الغبار والغازات القابلة للاشتعال أو الانفجار. 2.إمدادات المياه: مجهزة بمبرد ذاتي الدوران كيه جيه-5000، باستخدام الماء النقي أو منزوع الأيونات. 3. مصدر الطاقة: تيار متردد أحادي الطور 220 فولت 50 هرتز، 10 أمبير، مع قاطع دائرة 16 أمبير مثبت في الطرف الأمامي. ٤. متطلبات الغاز: يلزم استخدام غاز الأرجون (بدرجة نقاء ≥ ٩٩.٩٩٪). على المستخدم تجهيز أسطوانة أرجون مزودة بوصلة مزدوجة بقطر ٦ مم ومنظم ضغط. 5. متطلبات طاولة العمل: يوصى باستخدام طاولة عمل مستقرة بأبعاد L1300 مم × W750 مم × H700 مم وسعة تحميل ≥ 200 كجم. 6. التهوية: يلزم وجود تهوية مناسبة في موقع التثبيت؛ ويمكن تركيب نظام إضافي لتبادل الهواء أو نظام عادم إذا لزم الأمر. | ||
المعلمات الرئيسية (مواصفة) | فئة | مواصفة | ملاحظات |
نظام الفراغ | حجم غرفة التفريغ: φ295× H265 مم | غرفة من الفولاذ المقاوم للصدأ ذات مقاومة ممتازة للتآكل | |
مجموعة مضخة التفريغ: · مضخة جزيئية: هيبيس 80 مضخة جزيئية توربينية · مضخة الدعم: MVP015-2DC مضخة الحجاب الحاجز | نظام فايفر الأصلي ذو كفاءة ضخ عالية | ||
الفراغ الأساسي: 5.0E-3Pa(5.0E-5hPa) | فراغ القاعدة قبل الترسيب | ||
الفراغ النهائي: 5.0E-4Pa(5.0E-6hPa) | متأثر بالبيئة وجودة الختم | ||
| ضغط العمل: 0.1~5 باسكال(0.001~0.05هكتوباسكال) | بشكل أساسي الأرجون والغازات التفاعلية الاختيارية | ||
سرعة الضخ: · مضخة الدعم: 1 متر مكعب/ساعة · مضخة جزيئية: 67 لتر/ثانية | تحديد كفاءة وقت التنظيف بالمكنسة الكهربائية | ||
| تكوين مصدر الطاقة | نوع الطاقة والكمية: · التيار المستمر (دي سي): وحدتان | يتم استخدام التيار المستمر للأهداف المعدنية، ويتم استخدام التردد اللاسلكي لعزل الأهداف. | |
نطاق طاقة الإخراج: · تيار مستمر: 0~500 واط · تردد الراديو: 0~300 واط | مخرجات قابلة للتعديل لمختلف المواد | ||
| مطابقة المقاومة: 50 أوم | يضمن نقل الطاقة بشكل مستقر وفعال | ||
التحكم في الغاز | غاز العمل: التكوين القياسي - الأرجون (أر) | يوصى باستخدام الأرجون بدرجة نقاء ≥99.999 | |
| تدفق الغاز (قناتان): · القناة 1: 1–100 سم مكعب قياسي | قنوات تدفق كتلة مزدوجة مستقلة، قابلة للتخصيص للغازات الأخرى | ||
دقة مقياس التدفق: ±1% ف س | نظام إم إف سي عالي الدقة | ||
مرحلة العينة الدوارة | حجم المسرح: Ø132 مم (≈5.2 بوصة) | متوافق مع أحجام الركيزة المتعددة | |
سرعة الدوران: 1-20 دورة في الدقيقة | يحسن تجانس الفيلم | ||
| درجة حرارة التسخين: آر تي-500 درجة مئوية | تسخين سطح الركيزة مع التحكم في درجة الحرارة الثابتة | ||
تدقة درجة الحرارة: ±1 درجة مئوية | صنظام التحكم في درجة الحرارة بطاقة تعريف | ||
| أهداف المغنطرون | الكمية المستهدفة: 3 قطع | قابلة للتشغيل بشكل فردي أو في وقت واحد | |
· حجم الهدف: Ø2 بوصة · السُمك: 0.1–5 مم | يختلف السُمك حسب المادة | ||
| المسافة بين الهدف والركيزة: 85-115 مم قابلة للتعديل | المسافة الأكبر تعمل على تحسين التوحيد، وتقلل المعدل قليلاً | ||
| طريقة التبريد: تبريد الماء | يحمي نظام التبريد الدائري درجة الحرارة المستهدفة | ||
أداء الترسيب وغيره | تجانس الفيلم: ±5٪ (الركيزة Ø100 مم) | يتم تحديدها بشكل أساسي من خلال المسافة بين الهدف والركيزة وسرعة الدوران | |
نطاق سمك الفيلم: 10 نانومتر - 10 ميكرومتر | قد يؤدي السُمك الزائد إلى حدوث شقوق إجهادية | ||
الحد الأقصى لقوة الإدخال: · الوحدة الرئيسية: 500 واط؛ · مصدر طاقة التردد اللاسلكي: 1100 واط؛ · مصدر طاقة تيار مستمر: 750 واط | أنظمة الطاقة المستقلة للوحدة الرئيسية، والترددات الراديوية، والتيار المستمر، ورصد السُمك. | ||
| طاقة الإدخال: · أحادي الطور: تيار متردد 220 فولت 50/60 هرتز | يتطلب التأريض السليم | ||
| أبعاد الوحدة الرئيسية: · 600 مم × 750 مم × 900 مم | الارتفاع مع الغطاء مفتوحًا: 1050 مم | ||
الأبعاد الكلية: · 1300م×750م×900م | يتضمن مساحة التحكم والمضخة | ||
| الوزن الإجمالي: 160 كجم | باستثناء نظام التبريد | ||
الملحقات القياسية
لا. | اسم | كمية | صورة |
| 1 | نظام التحكم في مصدر الطاقة المستمر | مجموعتين | - |
| 2 | نظام التحكم في مصدر الطاقة ترددات الراديو | مجموعة واحدة | - |
| 3 | نظام مراقبة سماكة الفيلم | مجموعة واحدة | - |
| 4 | مضخة جزيئية (مستوردة من ألمانيا أو محلية بسرعة ضخ أعلى) | وحدة واحدة | - |
| 5 | مبرد | وحدة واحدة | - |
| 6 | أنبوب بوليستر بولي يوريثين (Ø6 مم) | 4م | - |
الملحقات الاختيارية
| لا. | اسم | فئة الوظيفة | صورة |
| 1 | أهداف مختلفة (الذهب، الإنديوم، الفضة، البلاتين، الخ.) | خياري | - |
| 2 | هدف مغناطيسي قوي (للرش بالمواد المغناطيسية الحديدية) | خياري | - |
| 3 | قناع | خياري | - |
| 4 | مرحلة العينة المهتزة | خياري | - |
| 5 | تركيبات طلاء دوارة ثنائية الطبقات | خياري |  |
ضمان
سنة واحدة محدودة مع دعم مدى الحياة (لا يشمل الأجزاء الصدئة بسبب ظروف التخزين غير الكافية)
الخدمات اللوجستية
