طلاء الرش المغناطيسي عالي الفراغ

VTC-1HD-زد اف 2

1. حجرة التفريغ: φ324X330

فراغ نهائي 8.0X10-5Pa (نظام مضخة جزيئية)

معدل التسرب: 2.0x10-10 باسكال.م3/ثانية

المواد هي الفولاذ المقاوم للصدأ 304 اللحام، ومعالجة تلميع السطح الكهروكيميائية.

يتم غلق الجزء النشط بحلقة ختم مطاطية، ويتم غلق الجزء غير النشط بحلقة ختم نحاسية.

يعتمد نقل الطاقة على ربط مغناطيسي.

تحتوي غرفة التفريغ على موضع هدف تحكم مغناطيسي، ومجموعة من أقطاب التبخر (اثنان)، وموضعين لفرن مصدر شعاع واحد (فرن مصدر شعاع واحد قياسي).

يتم حجز مجموعة واحدة من مقاييس التدفق (مجموعة واحدة من غاز الأرجون) مع نافذة مراقبة زجاجية φ150 وواجهة شفة C35.

2. رأس الهدف المتطاير: 2 بوصة (φ50.8 مم)

فراغ العمل: 10 باسكال ~ 0.2 باسكال.

معدل استخدام المواد المستهدفة: سسششش35% (هدف نحاسي قياسي 3 مم، فراغ سطح الهدف 0.5 باسكال)

الحد الأقصى للطاقة: <240 واط (مبرد بالكامل)

جهد العزل: سسشش2000 فولت (مع مصدر طاقة تيار مستمر 1500 واط)

3. مقاومة التبخر:

جهد خرج التبخر: تيار متردد 0-8 فولت قابل للتعديل بشكل مستمر.

حد تيار التبخر 200A.

الحد الأقصى لقوة التبخر <1.6 كيلو وات.

درجة الحرارة غير قابلة للسيطرة وغير قابلة للقياس.

4. فرن مصدر الشعاع: سعة البوتقة: 3 سم مكعب.

درجة حرارة التسخين: درجة حرارة الغرفة إلى 800 درجة مئوية.

يمكن قياس درجة حرارة التسخين وتعديلها والتحكم فيها.

دقة التحكم في درجة الحرارة: ±0.5 درجة مئوية.

بوتقة كوارتز مع حاجز وترموكبل كمعيار.

مصدر الطاقة: 500 واط، 36 فولت.

5. مرحلة العينة: φ120.

التحكم في درجة الحرارة: درجة حرارة الغرفة - 500 درجة مئوية.

السرعة: 1-20 دورة في الدقيقة.

يمكن رفع وخفض مرحلة العينة يدويًا، مع أقصى حد قابل للتعديل يبلغ 50 مم.

6. جهاز قياس سمك الفيلم معادل الصوت-TM106-1.

1) مصدر الطاقة: تيار مستمر 5 فولت (±10%)، الحد الأقصى للتيار 400 مللي أمبير.

2) دقة التردد: ±0.03 هرتز.

3) دقة سمك الفيلم: 0.0136Å (الألومنيوم).

4) دقة سمك الفيلم: ±0.5%، اعتمادًا على ظروف العملية، وخاصة موضع المستشعر، وإجهاد المادة، ودرجة الحرارة والكثافة.

5) سرعة القياس: 100 مللي ثانية - 1 ثانية / مرة، قابلة للتعديل.

6) نطاق القياس: 500000Å (الألومنيوم).

7) بلورة المستشعر القياسية: 6 ميجا هرتز.

8) واجهة الكمبيوتر: واجهة تسلسلية RS-232/485 (يمكن ضبط معدل الباود 1200، 2400، 4800، 9600، 19200، 38400، بت البيانات: 8، بت التوقف: 1، التحقق: لا شيء)

9) مخرج تناظري: دقة 8 بت، مخرج تعديل عرض النبضة تعديل عرض النبضة (مجمع مفتوح أو مخرج داخلي 5 فولت)

10) بيئة العمل: درجة الحرارة 0-50 درجة مئوية، الرطوبة 5%-85%الصحة الإنجابية، لا تكاثف.

11) الأبعاد: 90 مم × 50 مم × 18 مم.

9. مواصفات المنتج:

الحجم: حوالي 1300 مم × 660 مم × 1200 مم.

الوزن: حوالي 160 كجم.