منظف ​​البلازما مع مضخة فراغ

موديل المنتج

نفقات الاستهلاك الشخصي-6

المؤشرات الرئيسية

(تخصيص)

1. مصدر الطاقة: AC220V 50/60 هرتز

2. الطاقة الناتجة: 7.2 واط، 10.2 واط، 29.6 واط

3. قوة مضخة التفريغ: &لتر;500 واط

4. الطاقة الإجمالية: &لتر;600 واط

5. تردد الترددات اللاسلكية: 3.0 ميجا هرتز، يمكن تعديل الطاقة يدويًا في 3 مستويات

6. غرفة البلازما: غرفة كوارتز عالية النقاء بقطر 160 مم × 190 مم، مختومة بحافة مطوية من الألومنيوم مع نافذة مراقبة بقطر 45 مم على الحافة

7. مضخة التفريغ: 120 لتر/دقيقة، مضخة التفريغ الدوارة ذات المرحلة المزدوجة المتصلة مباشرة

8. الفراغ النهائي: 50mtorr

9. إدخال الغاز: يمكن إدخال غازات مختلفة لتوليد البلازما مثل N₂، أر، ه₂والأكسجين والهواء والغازات المختلطة (يتم اختيارها وفقًا لخصائص المواد) للتنظيف والحفر

أبعاد المنتج ووزنه

البعد: 400 مم × 300 مم × 300 مم

فيثمانية:10.2 كجم

الملحقات الاختيارية&نبسب; &نبسب;&نبسب;

1. 2"-6"قارب/حامل كوارتز (لحمل الركيزة)

2. نظام خلط البروتون أو الغاز العائم ذو 2-4 قنوات